实现多个腔室匹配的方法和实现多个腔室匹配的装置

摘要

本发明公开了一种实现多个腔室匹配的方法和装置。方法包括设定各腔室的初始工艺参数，其中，各所述腔室的初始工艺参数均相同；获取各所述腔室的实际硬件参数信息；根据所述实际硬件参数信息确定对应的所述腔室的工艺参数调整量；基于各所述腔室的所述工艺参数调整量和所述初始工艺参数，计算得到各所述腔室的实际工艺参数；将所述实际工艺参数下发至与其对应的各所述腔室，以使得各所述腔室的工艺输出结果相匹配。本发明的方法，可以使得各腔室之间的工艺输出结果匹配。并且，其可以将参数调整过程隐藏在系统中，省略掉了传统的腔室匹配方法中需要调节各个腔室的硬件和工艺参数的繁琐过程，简化了腔室匹配的工艺，提高生产效率，降低制作成本。