一种双频热等离子体射流发生装置

摘要

本发明公开了一种双频热等离子体射流发生装置，包括：装置本体，射频线圈、耐高温绝缘挡板、射频电源、射流源阴极、射流源阳极以及电弧电源；装置本体内形成有等离子体反应区；射频电源与射频线圈电连接；射频线圈用于电离放电气体；耐高温绝缘挡板设置在射频线圈与等离子体反应区之间；电弧电源分别与射流源阴极、射流源阳极电连接，射流源阴极和射流源阳极设置在等离子体反应区，射流源阴极和射流源阳极之间形成弧光放电区域，当预电离等离子体通过弧光放电区域后会产生热弧等离子体。该装置采用双频激励方式，通过对射频电源和电弧电源的组合调节，实现多场耦合控制，有助于等离子体的参数的分离控制，可以满足用户更多的需求。