一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统

摘要

本申请涉及碳化硅晶体生产领域，具体公开了一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统，方法包括：控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；服务器通过控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；人机操作监控平台从服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示；人机操作监控平台接收工作数据调整指令，并响应于调整指令，以控制第一目标控制器进行相应工作数据的调整。工作人员通过人机操作监控平台即可完成在碳化硅长晶过程中，对工作数据的监控以及对工作数据的修改，无需人工现场巡检，十分方便，减少了人工成本。并且通过集中管理控制碳化硅长晶炉生产设备，提高了生产效率。