一种激光直接成像曝光机及其成像方法

摘要

本发明公开了一种激光直接成像曝光机及其成像方法，包括曝光机构、成像平台、支撑平台和底座，底座底部固定安装有支撑腿，支撑平台设置在底座正上方，支撑平台和底座之间安装有多组升降气缸，底座上安装有与升降气缸连接的气缸控制器，支撑平台上端面安装有成像平台，成像平台表面安装有基板传输机构，曝光机构设置在成像平台正上方，曝光机构对下方的基板进行直接成像曝光，本发明结构设计新颖，操作方便，能够实现对基板的快速曝光，自动化程度高，稳定性好，提高了成像质量。