公开/公告号CN110438508A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 上海澳崎化工科技有限公司;
申请/专利号CN201810420538.6
申请日2018-05-04
分类号
代理机构上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人邓文武
地址 201801上海市嘉定区沪宜公路3638号2幢J728室
入库时间 2024-02-19 14:53:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
公开
公开
机译: 一种抛光液,用于抛光组件,尤其是晶片,特别是用于化学-机械抛光此类结构元件的抛光液
机译: 使用固定研磨垫和铜层化学机械抛光液的铜化学机械抛光工艺,特别适用于使用固定研磨垫的化学机械抛光
机译: 使用固定研磨垫和钨层化学机械抛光液的钨化学机械抛光工艺,特别适用于使用固定研磨垫的化学机械抛光