一种基于马兰戈尼效应的晶圆后处理系统和方法

摘要

本发明涉及化学机械抛光后处理技术领域，公开了一种基于马兰戈尼效应的晶圆后处理系统和方法，系统包括：晶圆提升装置，用于从清洗液中提拉浸入清洗液的晶圆；气体喷射装置，用于在晶圆从清洗液中提升的过程中，向晶圆表面附着的清洗液的弯液面区域喷射第一温度的干燥气体，以使晶圆表面的附着物按照与提升方向相反的方向从晶圆表面剥离。