一种含铝炸药微米级铝球表面氧化层的表征方法

摘要

本发明公开了一种含铝炸药微米级铝球表面氧化层的表征方法，包括以下步骤：(1)将铝粉分散于导电胶表面，送入聚焦离子束真空腔室中抽真空；(2)采用聚焦离子束的气体注入系统，在其表面沉积一层Pt；(3)通过Ga离子束流，将待加工区域两侧切割为“U”型悬空，待加工区域切割至厚度为1μm左右的薄片；(4)通过机械臂移动将薄片移出铝球表面；(5)将薄片与机械臂探针连接部分切割分离；(6)对薄片进行减薄得到样品；(7)对样品进行表征判断氧化铝层厚度。该技术基于聚焦离子束微纳加工工艺，在加工过程中通过高真空和铝球表面Pt金属层的沉积，实现离子束轰击过程中对氧化层的保护。