一种微波功率传感器及微波功率测量方法

摘要

本发明公开了一种微波功率传感器，其包括：衬底、设置在衬底上的共面波导单元与设置在共面波导结构一侧的测量单元，共面波导单元包括共面波导结构与吸收电阻，共面波导结构接收微波信号并传输到吸收电阻，微波信号在吸收电阻上产生损耗导致吸收电阻的温度升高，测量单元包括石墨烯薄膜与驱动电极，石墨烯薄膜感应吸收电阻的温度升高并使石墨烯薄膜的电阻值减小，改变施加于驱动电极上的调控电压使石墨烯薄膜的电阻值回复到初始值以实现微波信号的微波功率测量。上述基于电压调控石墨烯薄膜的微功率传感器具有结构简单、灵敏度高、测量范围大、测量精度高、体积小、与Si或GaAs工艺兼容、低成本等优点，满足集成电路对器件的要求，提高了适用性。