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一种钛基尺寸稳定型阳极的基体刻蚀方法

摘要

本发明的一种钛基尺寸稳定型阳极的基体刻蚀方法。刻蚀过程中,采用通入氮气的方法实现对钛基体表面微观形貌的优化。通过提升基体表面粗糙度达到增强基体与涂层结合力的作用,从而达到有效延长钛基尺寸稳定型阳极工作寿命,并在一定程度上提升电极工作效率的目的。相较传统钛基体,该方法可实现节约电沉积能耗、减少电极损坏及更换的成本,且满足电极制备工序少成本低廉等工业应用诉求。

著录项

  • 公开/公告号CN110318054A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东北大学;

    申请/专利号CN201910689809.2

  • 申请日2019-07-29

  • 分类号C23F1/26(20060101);C25C7/02(20060101);

  • 代理机构21109 沈阳东大知识产权代理有限公司;

  • 代理人宁佳

  • 地址 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号

  • 入库时间 2024-02-19 13:26:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23F1/26 申请日:20190729

    实质审查的生效

  • 2019-10-11

    公开

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