法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 1/28 授权公告日:20120808 终止日期:20180409 申请日:20100409
专利权的终止
2012-08-08
授权
授权
2012-08-08
授权
授权
2010-11-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/28 申请日:20100409
实质审查的生效
2010-11-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20100409
实质审查的生效
2010-10-06
公开
公开
2010-10-06
公开
公开
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机译: 带有用于检查样品中的缺陷的设备的透射电子显微镜设备以及使用透射电子显微镜检查样品中的缺陷的方法
机译: 用于准备用于电子显微镜检查的样品的样品制备方法将具有衬底的样品放置在真空室中以施加涂层和离子束
机译: 用于准备用于电子显微镜检查的样品的样品制备方法将具有衬底的样品放置在真空室中以施加涂层和离子束