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利用具有随机配置空隙的纳米粒子层的增强型粘合

摘要

在所描述实例中,通过沉积溶剂浆料的层(500a)来修改具有第一材料的衬底(201)的表面(201a),所述溶剂浆料包括第二材料的纳米粒子(402)和第三材料的纳米粒子,所述第二材料的纳米粒子具有提供在比块状第二材料的熔点温度更低的温度下的熔点的大小,所述第三材料的纳米粒子具有至少与所述第二材料的所述纳米粒子大小一样大的大小和在比所述第二材料的所述熔点温度更高的温度下的熔点。所述第二材料的纳米粒子具有比所述第三材料的纳米粒子更高的重量百分比。在所述第二材料的所述熔点温度下将所述第二材料的所述纳米粒子(402)烧结在一起。通过去除所述第三材料的所述纳米粒子在具有第二材料的所述层中形成空隙(501)。所述空隙(501)具有随机分布和随机三维配置。

著录项

  • 公开/公告号CN109923651A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-06-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德州仪器公司;

    申请/专利号CN201780069263.X

  • 发明设计人 B·S·库克;

    申请日2017-11-10

  • 分类号

  • 代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人林斯凯

  • 地址 美国德克萨斯州

  • 入库时间 2024-02-19 12:22:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/56 申请日:20171110

    实质审查的生效

  • 2019-06-21

    公开

    公开

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