公开/公告号CN110047802A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;
申请/专利号CN201910011521.X
申请日2019-01-07
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人陈晓
地址 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-15号
入库时间 2024-02-19 12:13:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/78 申请日:20190107
实质审查的生效
2019-07-23
公开
公开
机译: 具有三个材料去除阶段的工件分离
机译: 通过三个材料去除阶段分离工件
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