用于带帽MEMS装置的垂直塞子

摘要

描述带帽微机电系统(MEMS)装置。至少在某些情况下，MEMS装置包括一个或多个移动的质量块。帽可包括阻尼一个或多个可移动质量块的运动的塞子。至少在某些情况下，塞子阻尼质量块之一但不是另一个质量块的运动。