一种诊断射频等离子体模式转变的方法及其系统

摘要

本发明涉及一种诊断射频等离子体模式转变的方法，包括一等离子体和一增强电荷耦合器件相机，包括以下步骤：步骤S1、所述等离子体根据一脉冲调制信号在一工作模式下进行放电；步骤S2、所述增强电荷耦合器件相机在一脉冲触发信号的作用下触发快门，并拍摄所述步骤S1中的所述等离子体的放电过程；其中，所述步骤S1中，所述工作模式为ALPHA模式和GAMMA模式共存的工作模式；所述步骤S1的所述脉冲调制信号与所述步骤S2中的所述脉冲触发信号为时间同步的信号。还涉及一种诊断射频等离子体模式转变的的系统。其优点在于，通过使脉冲调制信号与脉冲触发信号为同步信号，使得ICCD相机能够仅在等离子体进行放电时进行拍摄，获取等离子体的放电过程及形貌。