三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置

摘要

本发明公开了一种三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，包括上负载盘及下安装盘，上负载盘与下安装盘之间通过中间的磁悬浮负载部件及周围的三个相同的作动元件连接；所述作动元件包括带环形隔断的驱动器外壳，驱动器外壳内设有包裹有励磁线圈的超磁致伸缩棒。本发明将三自由度精密定位指向与激振功能同时考虑，通过一套系统可以实现多种功能，方案结构紧凑，定位指向功能解耦，可单独实现所需平动自由度上的微纳尺度运动；由于采用了嵌入式柔顺放大机构，定位指向行程得以放大。同时，通过磁悬浮卸载装置设计，在激振时能够对较大负荷进行卸载处理，从而能够实现振动干扰的准确加载。