决定方法及装置、程式、信息记录媒体、曝光装置、布局信息提供方法、布局方法、标记检测方法、曝光方法、以及器件制造方法

摘要

决定装置(50)具备：算出部(10,12)，其将多个检测区域在既定面内交叉的第1方向及第2方向的节距分别设为D1,D2，将于基板上沿着第1方向及第2方向二维排列的多个区划区域各自在第1方向及第2方向的尺寸分别设为W1,W2，进而将配置于基板上的多个标记在第1方向及第2方向的节距分别设为p1,p2，根据节距D1、节距D2、尺寸W1及尺寸W2，算出满足下式(a),(b)的多个标记的节距p1及节距p2，p1＝D1/i(i为自然数)＝W1/m(m为自然数)……(a)p2＝D2/j(j为自然数)＝W2/n(n为自然数)……(b)。