公开/公告号CN110095068A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 广州超音速自动化科技股份有限公司;
申请/专利号CN201910318216.5
申请日2019-04-19
分类号
代理机构广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙);
代理人郭佳利
地址 511400 广东省广州市番禺区石基镇金山村华创动漫产业园B10栋
入库时间 2024-02-19 11:59:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20190419
实质审查的生效
2019-08-06
公开
公开
机译: 功率控制装置,电子增益调整装置,缺陷检测装置,用于测量物理参数(例如长度,密度和封闭性),微处理机控制以及分析,计数和处理,计算和处理的方法和装置
机译: 用于减少高浓度半导体装置制造过程中的缺陷的半导体装置制造方法
机译: 在化学和物理材料转化过程中减少或避免泡沫产生的方法和执行该方法的装置