首页> 中国专利> MEMS麦克风、其制造方法以及电子设备

MEMS麦克风、其制造方法以及电子设备

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明公开了MEMS麦克风、其制造方法以及电子设备。MEMS麦克风包括：MEMS麦克风装置，其包括MEMS麦克风芯片和与MEMS麦克风芯片单片集成的网孔薄膜(402)；和包括声学端口(413)的壳体(411,412)，其中，MEMS麦克风装置安装在壳体(411,412)中，且网孔薄膜(402)作为用于MEMS麦克风芯片的颗粒过滤器设置在MEMS麦克风芯片和声学端口(413)之间。根据一实施例，能够以相对高的可靠性给MEMS麦克风提供相对薄的网孔过滤器。

著录项

公开/公告号CN109890748A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-14

原文格式PDF
申请/专利权人歌尔股份有限公司;
展开▼

申请/专利号CN201780003246.6
发明设计人邹泉波;
展开▼

申请日2017-06-09
分类号B81B7/02(20060101);B81C1/00(20060101);H04R19/04(20060101);H04R31/00(20060101);
代理机构11442 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人石伟;李慧
地址 261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
入库时间 2024-02-19 11:59:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-25

专利申请权的转移 IPC(主分类):B81B7/02 登记生效日:20200806 变更前: 变更后: 申请日:20170609

专利申请权、专利权的转移
2019-07-09

实质审查的生效 IPC(主分类):B81B7/02 申请日:20170609

实质审查的生效
2019-06-14

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. MEMS麦克风组件和制造MEMS麦克风组件的方法 [P] . 中国专利： CN113170265A . 2021-07-23
2. MEMS电容器麦克风及制造方法、箔片叠层、电子设备及使用 [P] . 中国专利： CN101304942B . 2011-12-07
3. A METHOD OF MANUFACTURING A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, A STACK OF FOILS COMPRISING SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, AN ELECTRONIC DEVICE COMPRISING SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE AND USE OF THE ELECTRONIC DEVICE [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1934134A2 . 2008-06-25

机译：制造MEMS电容麦克风的方法，MEMS电容麦克风，一叠包含该MEMS电容麦克风的箔，包含该MEMS电容麦克风的电子设备和电子的使用
4. A METHOD OF MANUFACTURING A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, A STACK OF FOILS COMPRISING SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, AN ELECTRONIC DEVICE COMPRISING SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE AND USE OF THE ELECTRONIC DEVICE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2007029134A3 . 2007-07-26

机译：制造MEMS电容麦克风的方法，MEMS电容麦克风，一叠包含该MEMS电容麦克风的箔，包含该MEMS电容麦克风的电子设备和电子的使用
5. A METHOD OF MANUFACTURING A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, A STACK OF FOILS COMPRISING SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE, AN ELECTRONIC DEVICE COMPRISING SUCH A MEMS CAPACITOR MICROPHONE AND USE OF THE ELECTRONIC DEVICE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2007029134A2 . 2007-03-15

机译：制造MEMS电容麦克风的方法，MEMS电容麦克风，一叠包含该MEMS电容麦克风的箔，包含该MEMS电容麦克风的电子设备和电子的使用