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用于潮湿环境的压电弯曲致动器驱动器

摘要

本发明涉及一种,特别是用于在潮湿环境中永久保护的,压电驱动器(1),包括具有腔室(3)的壳体(2),该腔室由至少一个弹性膜(4)气密密封,并且包括在气密密封室(3)中的用于驱动驱动元件(8)的压电驱动单元(5)。该压电驱动单元(5)具有至少一个压电弯曲致动器(50),其在被电致动时生成横向于弹性膜(4)的弯曲挠度,优选地,两个弯曲致动器串联或并联布置。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/053 申请日:20171110

    实质审查的生效

  • 2019-07-02

    公开

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