一种可忽略力光耦合效应的柔性光子器件薄膜堆叠结构

摘要

本发明公开一种可忽略力光耦合效应的柔性光子器件薄膜堆叠结构，包括柔性衬底层、粘结层、包层、刚性体层以及二维光学谐振腔器件层，刚性体层嵌入到包层中并位于器件结构探测表面附近，二维光学谐振腔器件层位于刚性体层与探测表面之间。这种结构可以使分布在柔性光子器件薄膜堆叠结构中二维光学谐振腔附近的应变大大减小，在受力3MPa的条件下，包层内嵌入合适的微小刚性体可以将应变的数量级大大减小，同时柔性光子器件整体结构的柔性并不会遭到明显破坏。这种数量级的应变造成的谐振波长偏移远远小于生物探测过程中目标分析物对谐振波长偏移的影响，所以由力光耦合效应对生物传感造成的影响完全可以忽略，具有重要的实际应用价值。