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借助于原生部件承载件确定物理量的方法和布置结构

摘要

描述了一种用于确定物理量的方法和传感器布置结构。所描述的方法包括:激励形成在原生部件承载件(210)内的电容器装置(200a‑d);测量电容器装置(200a‑d)的电容值;以及基于所测量的电容值确定物理量。还描述了一种使用原生部件承载件(210)作为换能器以用于检测物理量的值的方法。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01K7/34 申请日:20181123

    实质审查的生效

  • 2019-07-09

    公开

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