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磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体和操作磁悬浮系统的方法

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摘要

提供一种磁悬浮系统。所述磁悬浮系统包括：基部结构(110)；载体(120)，可相对于所述基部结构(110)移动；和至少一个主动磁性轴承(112)，经构造以将所述载体(120)非接触地保持在所述基部结构(110)处。所述载体(120)包括第一载体部分(121)和第二载体部分(122)，所述第一载体部分经构造以与所述基部结构(110)磁性地相互作用，所述第二载体部分经构造以承载物体(10)，其中所述第一载体部分(121)和所述第二载体部分(122)经由柔性连接件(125)彼此连接。此外，描述了一种用于磁悬浮系统的载体和一种操作磁悬浮系统的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN109643680A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201780043005.4

  • 发明设计人 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;

    申请日2017-07-21

  • 分类号

  • 代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2024-02-19 11:23:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20170721

    实质审查的生效

  • 2019-04-16

    公开

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