公开/公告号CN109903283A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏维普光电科技有限公司;
申请/专利号CN201910159111.X
发明设计人 刘建明;
申请日2019-03-04
分类号G06T7/00(20170101);G06T7/13(20170101);
代理机构32308 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙);
代理人肖兴坤
地址 213000 江苏省常州市新北区华山路18号
入库时间 2024-02-19 11:18:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T7/00 申请日:20190304
实质审查的生效
2019-06-18
公开
公开
机译: 灰色色调掩模的缺陷检测方法和缺陷检测装置,光掩模的缺陷检测方法,制造灰色色调掩模的方法和图案转移方法
机译: 精细图形图案的光掩模图形缺陷检查方法和检测方法
机译: 缺陷例如晶体生长缺陷,光刻掩模,即掩模版的检测方法,以产生例如集成电路,涉及检查图像集上的缺陷以评估图像中重复缺陷的存在