首页> 中国专利> 形成在掩埋介电层的两侧上具有半导体器件的器件的方法

形成在掩埋介电层的两侧上具有半导体器件的器件的方法

摘要

一种方法包括从掩埋介电层的第二侧执行蚀刻工艺以暴露蚀刻停止层,其中掩埋介电层的第二侧与掩埋介电层的第一侧相对,并且其中第一半导体器件定位在掩埋介电层的第一侧上。该方法还包括在掩埋介电层的第二侧上形成第二半导体器件。

著录项

  • 公开/公告号CN109844933A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-06-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 高通股份有限公司;

    申请/专利号CN201780052182.9

  • 发明设计人 S·格科特佩里;S·A·法内利;

    申请日2017-07-26

  • 分类号

  • 代理机构北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2024-02-19 11:00:22

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/84 申请日:20170726

    实质审查的生效

  • 2019-06-04

    公开

    公开

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