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公开/公告号CN1906480B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-08-08
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社石田;
申请/专利号CN200580001548.7
发明设计人 广濑修;
申请日2005-03-25
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本京都
入库时间 2022-08-23 09:11:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-08-08
授权
2007-03-28
实质审查的生效
2007-01-31
公开
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机译:用于通过X射线衍射检查半导体晶片的晶格的装置