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一种减缓质谱分析仪中真空紫外灯衰减速率的方法

摘要

本发明涉及质谱分析仪器,具体说是一种减缓质谱分析仪器真空紫外(VUV)灯衰减速率的方法,所述质谱分析仪采用VUV灯为电离源,由VUV灯氟化镁光窗发出的出射光穿过推斥电极中部的通孔射入质谱电离区。质谱分析仪VUV灯使用过程中,真空紫外光照射到金属电极上会产生光电子,光电子溅射到氟化镁光窗上导致光窗带电荷吸附有机物造成光窗污染,光窗污染是导致质谱分析仪器真空紫外灯长期使用时信号强度衰减的主要原因。环形磁铁可以使光电子运动路径发生改变,栅网可以吸收光电子和部分有机物,在VUV灯前端使用磁铁和栅网吸收光电子,并使用吹扫气在灯前端吹扫减少样品反冲,从而减少光窗污染,减缓VUV灯衰减速率。

著录项

  • 公开/公告号CN109841467A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-06-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院大连化学物理研究所;

    申请/专利号CN201711213353.X

  • 申请日2017-11-28

  • 分类号H01J9/50(20060101);H01J49/08(20060101);H01J49/26(20060101);

  • 代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;

  • 代理人马驰

  • 地址 116023 辽宁省大连市中山路457号

  • 入库时间 2023-06-18 06:39:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J9/50 申请日:20171128

    实质审查的生效

  • 2019-06-04

    公开

    公开

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