法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20190121
实质审查的生效
2019-05-28
公开
公开
机译: 基于具有可变形基底的膜结构的膜组件,该膜结构在NM范围内具有三维孔,并且采用相同的半导体技术方法进行制造
机译: 基于具有可变形基底的膜结构的膜组件,该膜结构在NM范围内具有三维孔,并且采用相同的半导体技术方法进行制造
机译: 基于具有可变形基底的膜结构的膜组件,该膜结构在NM范围内具有三维孔,并且采用相同的半导体技术方法进行制造