一种基于混合驱动的大行程刀具伺服装置及其控制方法

摘要

发明公开一种基于混合驱动的大行程刀具伺服装置及其控制方法，包括压电驱动装置、洛伦兹力驱动装置、基体、柔性导向机构、装刀平台和位移传感器，压电驱动装置和洛伦兹力驱动装置设置于基体上，洛伦兹力驱动装置连接于压电驱动装置的后端，装刀平台固定于压电驱动装置的前端，压电驱动装置通过其两侧的柔性导向机构与基体连接，位移传感器用于测量所述刀具的位移，所述控制方法包括音圈电机开环控制及压电驱动闭环补偿控制，本发明兼具洛伦兹力驱动大行程优点及压电驱动高频响、亚纳米运动分辨率优点，以高频响压电补偿系统响应速率，实现刀具运动轨迹的快速、超精密跟踪，可极大拓展FTS系统切削能力。