一种激光加工头中热透镜焦点变化的测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种激光加工头中热透镜焦点变化的测量装置及测量方法，其包括：激光加工头，激光加工头包括光纤水晶头、准直镜、聚焦镜、电容随动头以及喷嘴；焦点位置测量模块，所述焦点位置测量模块包括感应片、窗口片、中继镜、耦合镜组、第一成像合束镜、第二成像合束镜、聚光LED、衰减片、滤光片、电动变焦透镜组以及CCD相机，聚光LED发出的光束被第一成像合束镜全反射后进入耦合镜组，再通过中继镜、聚焦镜、准直镜后最终聚焦到光纤水晶头端面上，光纤水晶头端面反射出来的光束原路返回经第一成像合束镜全反射至第二成像合束镜上，并经电动变焦透镜组后在CCD相机上成像。本发明能准确测量出激光加工头的焦点变化量。