一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器

摘要

本发明涉及一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器，包括衬底层，所述衬底层的上方设置有引线电极以及对数周期天线，对数周期天线的两臂分别与对应的引线电极电连接；所述对数周期天线的两臂之间设置有石墨烯导电层，该石墨烯导电层与对数周期天线的两臂电连接，所述石墨烯导电层的上方设置有介质层，所述介质层上设置有劈裂栅极，以及与劈裂栅极电连接的引线电极；所述石墨烯导电层的中部段设置有多个间隔的中空孔；该增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，通过改变石墨烯导电层的结构，使得石墨烯导电层在进行导电的时候能够吸收更多的热量，载流子的浓度更高，从而提高了探测光波的敏感度，提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。