公开/公告号CN109656103A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN201811553514.4
申请日2018-12-19
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人戴广志
地址 201315 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2024-02-19 09:17:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20181219
实质审查的生效
2019-04-19
公开
公开
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