用于调整来自带电粒子源的粒子束的强度的设备

摘要

一种用于调整沿着轴线(A0)发射的带电粒子束的强度的设备，该设备包括：4×N个连续的偏转系统(21，22，23，24)，其中，N＝1或2，偏转系统(21，22，23，24)沿着所述粒子束的轴线(A0)定位；针对每个偏转系统(21，22，23，24)，用于施加偏转所述束的力并且用于改变所施加的力的装置；两个准直器(41，42)，每个准直器具有槽(61，62)，槽具有宽度从中心朝周边增加的开口，两个准直器分别位于第一偏转系统与第二偏转系统之间以及第三偏转系统与第四偏转系统之间；准直器(41)的槽(61，62)的开口面向所述束的发射轴线A0的两侧。