法布里-珀罗干涉滤光器及法布里-珀罗干涉滤光器的制造方法

摘要

法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第1表面(11a)；第1层叠体(22)，其具有配置于第1表面(11a)的第1镜部(31)；第2层叠体(24)，其具有经由空隙(S)而与第1镜部(31)相对的第2镜部(32)；及中间层(23)，其于第1层叠体(22)与第2层叠体(24)之间划定空隙(S)。基板(11)具有于自垂直于第1表面(11a)的方向观察的情形时位于较中间层(23)的外缘更靠外侧的外缘部(11c)。第2层叠体(24)进而具有：覆盖部(33)，其覆盖中间层(23)；及周缘部(34)，其位于外缘部(11c)中的第1表面(11a)上。第2镜部(32)、覆盖部(33)及周缘部(34)以相互连续的方式一体地形成。周缘部(34)沿外缘部(11c)的外缘而被薄化。