一种可同时测量水平方向加速度和角速度的微传感器

摘要

本发明公开了一种可同时测量水平方向加速度和角速度的微传感器，包括上层硅微结构和下层玻璃基座，硅微结构通过四角的第一锚区键合在玻璃基座上，硅微结构包括加速度检测模块和角速度检测模块，角速度检测模块和加速度检测模块共用一个质量块，角速度检测模块与质量块通过第一连接梁和第二连接梁相连，加速度检测模块与质量块直接相连，且角速度检测模块通过第三连接梁和第二锚区与玻璃基座相连；角速度检测模块驱动模态与角速度检测模块检测模态之间、加速度检测模块检测模态与角速度检测模块检测模态之间互相解耦，实现同时测量水平方向加速度和角速度。本发明通过连接梁的合理设计，实现各模态之间相互解耦，且提高了测量精度。