一种热式微流量测量传感器流道及密封结构

摘要

本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构，包括底板、元件基座、连接板和检测元件；底板和连接板均为矩形板，底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔，圆孔轴线穿过凹槽，元件基座为圆台，元件基座同轴焊接在圆孔中，元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件，连接板与底板固定连接，连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔，通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合，避免了气体紊流，弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷；通过设置填充件并将底板与连接板焊接，确保了检测元件和气体流道的可靠密封，解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。