研磨磨粒、其制造方法、包含该研磨磨粒的研磨浆料及使用该研磨浆料的研磨方法

摘要

本发明的研磨磨粒是由表面被添加剂覆盖、且在pH为8以下时电动电位为正的无机研磨粒子形成的研磨磨粒。而且，上述添加剂优选为皮考啉酸或谷氨酸。上述无机研磨粒子优选为氧化铈粒子。由表面被皮考啉酸或谷氨酸覆盖、且在pH为8以下时电动电位为正的氧化铈粒子形成的研磨磨粒是通过具有在皮考啉酸或谷氨酸的存在下将氧化铈进行湿式粉碎的工序的研磨磨粒的制造方法来制造的研磨磨粒。