一种基于PDMS微流体结构上集成聚氨酯薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种基于PDMS微流体结构上集成聚氨酯薄膜的方法，包括如下步骤：(1)取基于PDMS的微流体结构，清洗、吹干，备用；(2)在硅晶圆上均匀旋涂聚氨酯分散体，加热固化，形成聚氨酯弹性薄膜；(3)将步骤(1)和(2)处理后的微流体结构和聚氨酯弹性薄膜进行氧等离子体处理；(4)将步骤(3)等离子体处理后的微流体结构和聚氨酯弹性薄膜键合面迅速对准后施压并加热，使微流体结构表面集成聚氨酯弹性薄膜。本发明的产品相对于现有技术气密性好，用于制造气动薄膜阀，可提高性能，值得推广。