OLED显示器件的蒸镀方法、OLED显示器件及蒸镀设备

摘要

本发明公开了一种OLED显示器件的蒸镀方法、OLED显示器件及蒸镀设备，通过将空穴传输层、发光层和电子传输层合并在一个蒸镀室内蒸镀，或空穴传输层、电子传输层拆分，再将部分空穴传输层、电子传输层与部分电子传输层合并蒸镀，减少了对应的在同一蒸镀室内蒸镀的不同功能层之间的等待时间,增强了载流子之间注入、传输的能力以及复合的效率，进而增强了器件的性能，增加产品的良率，同时，只是将其中部分功能层进行合并，对生产节拍的影响较小，可以同时保证较高的产能。