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配给工作气体的装置及装有此装置以供给工作气体的设备

摘要

本发明涉及一种用于配给一工作气体的装置,包括与至少一工作气体源相连及与至少一用于将该工作气体向一用户工作站输送的出口管相连的一系列管路,还包括功能部件25、25A,及一操作控制单元35、35A,该单元包括用于与所述功能部件35、35A相交流的装置37、用于控制与所述功能部件25、25A相关的各项任务的装置39和用于操纵该控制装置39的装置45,它可以由该配给装置的操作者来操纵。操纵装置45包括一触摸传感屏47,该传感屏具有与相应的各项任务的控制相关的主控制区,该主控制区由与所述的各任务相关的图形所限定并永久地显示在触摸传感屏47上。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2004-02-18

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2002-05-01

    授权

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  • 2001-03-07

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1999-06-30

    公开

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