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量子阱偏移光放大器和电吸收调制器的制作方法

摘要

一种量子阱偏移光放大器和电吸收调制器的制作方法,包括:在n型InP衬底上外延生长n型InP缓冲层、电吸收调制器下限制层、电吸收调制器多量子阱、电吸收调制器上限制层和本征InP注入缓冲层;生长SiO

著录项

  • 公开/公告号CN102162968B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-08-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201010591447.2

  • 申请日2010-12-08

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:10:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-02-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/39 授权公告日:20120808 终止日期:20121208 申请日:20101208

    专利权的终止

  • 2012-08-08

    授权

    授权

  • 2011-10-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/39 申请日:20101208

    实质审查的生效

  • 2011-08-24

    公开

    公开

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