一种掩模网张网装置、蒸镀装置、张网方法及蒸镀方法

摘要

本发明公开了一种掩模网张网装置、蒸镀装置、张网方法及蒸镀方法，该张网装置包括张力施加机构，带动掩模网相对的两侧相背或相向运动；导向机构，为掩模网运动提供导向；掩模网形貌测量单元，与所述掩模网的位置对应；张力控制单元，与所述掩模网形貌测量单元和张力施加机构连接。通过掩模网形貌测量单元测量掩模网的平坦度和下垂形变量，通过张力控制单元对上述测量的数据进行拟合，得到所要控制的张紧力大小，并对张力施加机构进行控制，同时张力施加机构带动所述导向机构移动，向掩模网施加规定的张紧力，不仅解决了掩模网下垂的问题，同时实现了对掩模网张紧力的自动调节和控制，提高控制精度，降低了掩模网的报废率和制造成本，提高了良率。