一种坩埚及坩埚架转移装置

摘要

本发明公开一种坩埚及坩埚架转移装置，连接座固定安装在机械手上，通过机械手带动移动位置；连接座上安装直线开合装置，直线开合装置上安装两组夹爪，直线开合装置能够带动两组夹爪沿直线相对靠拢和分离；两组夹爪分离的最远间距大于坩埚的直径，夹爪相互靠近能够夹取坩埚，通过机械手运动到靠近坩埚的位置，夹爪相互靠拢夹紧坩埚，并通过机械手将坩埚移动到所需位置，夹爪相互分离并放置坩埚，完成坩埚的转移；两组夹爪的上表面水平高度齐平，且夹爪上表面与坩埚架的底面相匹配，通过机械手带动可伸入到坩埚架的底部，用于从底部承托坩埚架，实现坩埚架的转移；仅通过一套装置可实现坩埚及坩埚架的转移，结构简单，有利于降低成本。