一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ZnO2靶材

摘要

一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ZnO2靶材，其制备方法为：将粒径≈50nm，纯度≥99.99％的ZnO2经过干法制粒机，制成15‑20um左右大小的蓬松颗粒。再将经过制粒的蓬松ZnO2颗粒填装在超声辅助模具中并放置于冷静压下。调节油压机的压力，将模具内部压强分别设置为150MPa、300MPa、450MPa、600MPa、750MPa和900MPa。引入功率P＝3Kw的超声震荡和冷静压双重作用下成型致密度高达74.2±0.2％的素坯样品。最后，在1150℃的温度下烧结5h制得。