改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜及其制备方法，薄膜表面图案为凸起高度为0.5mm的宽度0.3mm、长度5mm、沿径向夹角5°的条纹或边长0.6mm、沿径向排列的夹角为10°的正三角形，其制备方法包括如下步骤：(1)采用精铣雕刻机在不锈钢基材表面加工出若干凸起的条纹或正三角形图案；(2)将图案化的基材依次在丙酮、无水乙醇中清洗20分钟，并在干燥箱中烘干；(3)将基材置于多弧离子镀设备中，沉积TiAlN薄膜；(4)沉积过程结束后，待样品冷却至室温，将其取出，获得TiAlN图案薄膜；本发明制备的图案薄膜具有可以减轻粘着，平稳或降低高温摩擦系数，提高材料表面高温耐磨性的功能。