法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1998-02-18
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1995-06-21
授权
授权
1992-07-22
公开
公开
1991-08-07
实质审查请求已生效的专利申请
实质审查请求已生效的专利申请
机译: 用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译: “一种用于微机械系统的装置和一种制造微机械装置的方法”
机译: 一种微机械结构及其使用方法,一种微机械装置及其制造方法