Development of MEMS Capacitance Sensor Based on Pressure Artificial Denture

摘要

在口腔临床医疗中，天然牙缺失后的患者，采用可摘义齿修复后，义齿对口腔下方组织的作用力直接影响到患者的健康，因此，口腔医学的研究人员都希望能够准确了解义齿对口腔下方组织的作用力情况。目前，据现有的文献检索，国内较少这方面的相关研究报道，国外的研究已取得了一定的成果，但由于传感器的限制，还是比较难准确的测量到义齿对口腔下方组织的作用力。本文介绍了一种以MEMS技术为基础的基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制，它是以电容式压力传感器的原理为基础，采用MEMS技术中的光刻、氧化、掩膜，键合等工艺，针对临床医疗中义齿压力检测而设计并制作的新型MEMS压力传感器。就此本文主要开展了以下研究工作...