Study on Measurement and Data Processing of High Precision Optical Aspheric Surface

摘要

现代光学设计中，广泛采用高精度的光学非球面元件。采用非球面光学器件，不仅可以消除球差、像差、场曲，减少光能损失。从而获得高质量的图像效果和高品质的光学特性，而且减少了光学元件的数量，简化系统的结构。影响非球面加工精度的不仅是机床和刀具，而且与制造系统所采用的测量系统和测量精度密切相关。本文针对光学非球面制造系统的测量特点，利用激光位移传感器和数据采集卡搭建非接触式非球面测量系统。测量系统的精度是本课题研究的核心内容。测量系统的精度不仅取决于系统的硬件结构，而且与数据处理算法密切相关。本文论述的非球面测量系统，分别从硬件和软件两个方面对提高系统的测量精度进行研究。本文研究的主要内容如下：1.高精...