DESIGN AND FABRICATION OF IN-PLANE SILICON MICRONEEDLES

摘要

MEMS制作的微米针管基本结构与传统注射用针管一致，但是其最大特点是有三：首先是针管尺寸大大缩小，传统针管长度约20mm，外口径约有0.5mm，而微米针管长度最大只有7mm，针管外口径只有0.1mm左右，大大减小了穿刺皮肤组织所带来的痛感；其次，传统针管多为钢制，而微针管多数采用MEMS技术，其基本材料为硅，由于硅物理化学性质稳定，不被人体组织排斥，具有极大的安全性；最后，MEMS技术是基于成熟的半导体工艺发展而来，可以在硅片上实现大规模生产。常见的微针管主要分为面内构造和面外构造两种。面内构造是指针体纵向与硅片表面平行的制造方式，多数采用深刻蚀等硅表面加工技术；而面外构造则是与硅片表面垂直，...