Research on High Precision Machining and Measuring Technology of Wedge Aspheric Surface

摘要

非球面光学元件具有矫正像差、简化系统、提高光学系统精度优点。当前，光学非球面器件的使用主要受到其加工精度、表面质量和制造成本的限制。精密数控磨削加工技术克服了原有传统非球面器件加工中人为因素决定工件精度、加工效率、重复性差的缺点，是一种加工光学非球面零件的新方法。 本文针对光学非球面的加工机理，提出了多种改善加工效率、提高加工精度的加工与测量方法。设计并实现了高精度非球面制造及测量系统软件模块：完成非球面磨削加工的工件安装定位、加工轨迹规划、加工精度影响因素控制整套流程；砂轮加工磨削线速度及进给速度对元件加工精度的影响；不同非球面元件表面方程的数学建模及应用；加工工具均匀磨损控制及工件均匀磨...