Investigation on preparation and magnetic properties of the undoped ZrO2 and HfO2 nanoparticle-assembled thin films

摘要

自从无掺杂HfO2薄膜的室温铁磁性被发现后，对无掺杂非磁性金属氧化物纳米结构材料的磁学性能研究成为近年来磁学和稀磁半导体领域的一个研究热点，但是关于这类材料的铁磁性起源仍然存在较大争议。因此，对无掺杂HfO2和ZrO2纳米结构材料的磁学性能研究具有重要的实际意义和学术价值。 本文采用实验室自行研制的纳米粒子束流复合沉积设备，利用等离子体磁控溅射惰性气体冷凝技术制备HfO2和ZrO2纳米粒子组装薄膜。在系统探索工作参数对纳米粒子的粒径大小与尺寸分布的影响后，通过改变工作电流I和Ar/He流量，我们最终获得了平均直径在4~12nm之间可控的ZrO2和HfO2纳米粒子。同时，XRD结果表明物理气相...